藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐熱場(chǎng)部件
什么是藍(lán)寶石晶體?
藍(lán)寶石是一種氧化鋁的單晶,屬三方晶系,硬度僅次于金剛石,并具有耐磨性及高溫穩(wěn)定性等特點(diǎn)。目前,其主要用于LED襯底、大規(guī)模集成電路襯底、電子產(chǎn)品保護(hù)片、手機(jī)屏、各種視窗、紅外制導(dǎo)、導(dǎo)彈整流罩等,廣泛應(yīng)用于光電子、通信、國(guó)防、醫(yī)療等領(lǐng)域。
什么是藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐?
藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐是用于人工合成藍(lán)寶石晶體的設(shè)備,一般包括抽真空、加熱、熔化、長(zhǎng)晶、退火、冷卻等步驟,核心控制功能為熱場(chǎng)電壓/功率控制及加熱籠提升運(yùn)動(dòng)控制。長(zhǎng)晶爐的爐體要求具有極好的密封性,使其內(nèi)部的溫度梯度一致性佳,從而提高其生產(chǎn)的晶體質(zhì)量和品率,并提高生產(chǎn)效率,使之適用于大批量生產(chǎn)晶體。
什么是藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐熱場(chǎng)?
作為藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐的關(guān)鍵部件,熱場(chǎng)會(huì)影響整個(gè)系統(tǒng)的運(yùn)行。合適的熱場(chǎng)將提高爐溫的均勻性,有助于提高晶體質(zhì)量和晶體成品率;且合適的熱場(chǎng)還可降低維護(hù)成本并延長(zhǎng)爐子的使用壽命。
藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐熱場(chǎng)相關(guān)鎢部件包括鎢坩堝、鎢筒、鎢發(fā)熱體、鎢隔熱屏、鎢下屏、鎢底座、鎢坩堝蓋、鎢托盤、鎢支柱。
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