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鎢錸探針
半導(dǎo)體測試探針要求材料具有高純度和高精度，可以是采用錸鎢合金制作而成的合金探針，也可以是采用純鎢制成的純鎢探針。
其中，錸鎢合金的接觸電阻比鎢稍高而抗疲勞性相似。相對于純鎢來說，錸鎢合金的晶格結(jié)構(gòu)更加緊密，因此錸鎢探針頂端的平面更加光滑。這意味著錸鎢探針的頂端被污染的可能性更小，更容易清潔，其接觸電阻也比鎢更加穩(wěn)定。
在半導(dǎo)體測試中，探針的其他參數(shù)也會影響到測試結(jié)果，如針尖的直徑與形狀、觸點壓力以及探針臺的平整度，等等。因此，鎢錸探針具有超細(xì)針尖，表面光滑無傷，光潔度能達(dá)到Ra0.25以上。
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